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產(chǎn)品名稱:芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

產(chǎn)品型號:P54

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺 P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

更新日期:2021-03-23

P54芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺的詳細(xì)資料:

1.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

特性  

• θx, θy偏擺運動,zui大偏轉(zhuǎn)角度±1.1mrad/軸        • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇      • 80×80mm大通孔                  

• 分辨率高                 • 外形超薄

 

2.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

外觀形狀  

   產(chǎn)品運動示意圖  

  閉環(huán)曲線  

 

  閉環(huán)傳感精度高  

   頻率負(fù)載曲線  

   應(yīng)用實例-激光合束/軍事激光武器  

P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化,使角度偏移達(dá)到zui小,無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)zui大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad,分辨率高達(dá)0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S.的重復(fù)定位精度。

臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為80×80mm,P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、計量、定位等應(yīng)用的選擇。

P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光武器等領(lǐng)域。

 

  負(fù)載大鏡片  

  驅(qū)動方式  

 

P54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達(dá)80×80mm,非常適用于需要透射光的應(yīng)用,負(fù)載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。

校準(zhǔn)調(diào)測

震動實驗

 

  3.二維θxθy向壓電偏擺臺驅(qū)動方式  

P54壓電偏轉(zhuǎn)臺θxθy兩軸采用90。相差輸入,通過控制電壓的大小,對不同的光路距離,可進行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。

 

  應(yīng)用  

       • 光束掃描  • 激光合束對準(zhǔn)與激光致盲   • 干涉/計量  • 空間擾動模擬系統(tǒng)  • 光路調(diào)整  • 掩模與晶片位置調(diào)整  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術(shù)  • 表面結(jié)構(gòu)分析

 

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