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產品名稱:芯明天放大機構式壓電掃描臺

產品型號:P16

產品報價:

產品特點:芯明天放大機構式壓電掃描臺 P16壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺,機構放大設計原理,中心通孔孔徑為20mm,該系列掃描臺有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選,開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動臺面,便于與外部機械結構安裝連接。

更新日期:2022-08-25

P16芯明天放大機構式壓電掃描臺的詳細資料:

   芯明天放大機構式壓電掃描臺 P16壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺,機構放大設計原理,中心通孔孔徑為20mm,該系列掃描臺有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選,開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動臺面,便于與外部機械結構安裝連接。

P16壓電掃描臺特性

•大位移100μm

• 大承載1.5kg

• 通孔尺寸:Ø20mm

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選

剛度大、諧振頻率高、負載能力大

    P16系列壓電掃描臺,采用機構放大設計原理,內置高性 能壓電陶瓷,兩個規(guī)格型號掃描臺分別可實現50μm與100μm 的運動行程,一體式結構設計XY軸運動無耦合,優(yōu)異的結構 可以承載1.5kg的負載,空載諧振頻率達400Hz。

    P16.XY100版本為中心對稱運動方式,需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。

   P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm,該系列壓電 掃描臺以其小體積、大負載、高動態(tài)等特性廣泛應用于顯微成 像等領域。

芯明天放大機構式壓電掃描臺P16壓電掃描臺典型應用

• 顯微成像 • 表面檢測

• 干涉/計量 • 精密定位

• 光學 • 微操作

應用實例

    P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點,應用于光 路調整實驗中,帶載大鏡架做XY軸精密運動。

P16壓電掃描臺技術參數:

 

 

型號

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P16.XY50S P16.XY50K

 

P16.XY100S P16.XY100K

 

單位

運動自由度

X、Y

X、Y

 

標稱行程范圍(0~120V)

40/軸

80或±40/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

55/軸

100或±50/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

Ø20

Ø20

mm

閉/開環(huán)分辨率

10/5

10/5

nm

閉環(huán)線性度

0.4/-

0.4/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.1/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<20

<25

µrad

推/拉力

30/10

30/30

N

運動方向剛度

X0.5/Y0.5

X0.5/Y0.5

N/μm±20%

空載諧振頻率

X200/Y200

X400/Y400

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10/0.8

10/1.6

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50

100

 

Hz±20%

行程

20

40

大承載

1.5

1.5

kg

靜電容量

1.8/軸

3.6/軸

μF±20%

材質

鋼、鋁

鋼、鋁

 

重量

200

220

g±5%

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。

 
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