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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:P78Z

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 P78壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm,放大機構(gòu)內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可以實現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程,優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)具有超高的定位精度,適用于需要大行程精密定位的應(yīng)用領(lǐng)域。

更新日期:2021-03-23

P78Z芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺的詳細資料:

芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺?     

P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺,壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm,放大機構(gòu)內(nèi)置高性能壓電陶瓷,可以實現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程,優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)具有超高的定位精度,適用于需要大行程精密定位的應(yīng)用領(lǐng)域。

P78壓電掃描臺特性:

 Z軸運動           開環(huán)閉環(huán)可選         大行程300μm     閉環(huán)重復(fù)定位精度高   

芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺典型應(yīng)用           

• 顯微成像 • 表面檢測

• 干涉/計量 • 精密定位

• 生物技術(shù) • 微操作

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列壓電掃描臺,采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,可以實現(xiàn) Z軸210μm或300μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu) 采用有限元分析進行優(yōu)化實現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng) 時間。

P78系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器,對位移實現(xiàn) 實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器,實現(xiàn)納米級精密控制。掃 描臺臺體中心通孔尺寸64×64mm,適用于干涉、掃描、表面 檢測等應(yīng)用。

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

P78. Z壓電掃描臺滿幅值300μm的閉環(huán)重復(fù)定位精度為 0.05%。

P78壓電掃描臺技術(shù)參數(shù):

 

型號

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

P78.Z200S P78.Z200K

 

P78.Z300S P78.Z300K

 

單位

運動自由度

Z

Z

 

標(biāo)稱行程范圍(0~120V)

150

210

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

210

300

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

64×64

64×64

mm

閉/開環(huán)分辨率

7/3

10/5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

0.15/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.04/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<20

<30

µrad

推/拉力

50/8

30/5

N

運動方向剛度

0.35

0.15

N/μm±20%

空載諧振頻率

300

150

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

15/3.2

30/3.2

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

80

50

 

Hz±20%

行程

15

10

大承載

1.5

0.5

kg

靜電容量

7.2

7.2

μF±20%

材質(zhì)

 

重量

340

340

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

 

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