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產(chǎn)品名稱:N20/P21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:N20/P21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺,產(chǎn)品體積小巧,大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad,承載能力達2kg,可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。

更新日期:2025-02-24

N20/P21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺的詳細資料:

S20/S21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺為一維θz旋轉(zhuǎn)臺,產(chǎn)品體積小巧,大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad,承載能力達2kg,可帶動鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運動。

特性:

• θz旋轉(zhuǎn)

大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad

閉環(huán)定位精度高

響應(yīng)速度快

體積小巧

典型應(yīng)用

光路調(diào)整 干涉

光束掃描 計量

應(yīng)用實例

   S21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用, 組成多軸精密壓電定位臺,用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。

小體積、高分辨率、高精度

     S21θz一維旋轉(zhuǎn)臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,可以實 現(xiàn)大8.5mrad的旋轉(zhuǎn),體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,尺寸僅 為60×60×15mm,非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。

   采用壓電陶瓷作為驅(qū)動元件,臺體采用柔性鉸鏈機 構(gòu),無摩擦、無回差,可以實現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi) 置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實現(xiàn)微弧度的定位精 度,在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。

驅(qū)動控制方式

   S21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺,單通道壓電控制器即可驅(qū)動控制,閉 環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器,實現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。

N20/P21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)參數(shù):


型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

S21.R7S S21.R7K


單位

運動自由度

θz


標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)角度 (0~+120V)

6

mrad±20%

大旋轉(zhuǎn)角度 (-20~+150V)

8.5

mrad±20%

傳感器類型

SGS/-


閉/開環(huán)分辨率

0.4/0.2

μrad

閉環(huán)線性度

0.5/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.2/-

%F.S.

推/拉力

10/5

N

運動方向剛度

1

N/μm±20%

空載諧振頻率

1.1

kHz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

30/1.5

ms±20%


閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50


Hz±20%

行程

15

大承載

2

kg

靜電容量

1.8

μF±20%

材質(zhì)


重量

105

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。



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