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產(chǎn)品名稱:P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

更新日期:2021-09-08

P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺的詳細資料:

P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計,響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高,80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。

特性:

•  θx, θy偏擺運動 • 開環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄


應(yīng)用實例

P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用 于軍事激光等領(lǐng)域。

典型應(yīng)用

• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統(tǒng)

• 微操作 • 掩模與晶片位置調(diào)整

閉環(huán)傳感精度高

P54系列壓電偏轉(zhuǎn)臺內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)采用有限 元分析優(yōu)化,使角度偏移達到小,無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅(qū)動實現(xiàn)大偏轉(zhuǎn)范圍±1.1mrad,分 辨率高達0.05μrad,可選擇配置閉環(huán)傳感器實現(xiàn)0.1%F.S. 的重復(fù)定位精度。

臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為 80×80mm,P54壓電偏轉(zhuǎn)臺是亞微弧度精密光束調(diào)整、 計量、定位等應(yīng)用的選擇。

負載大鏡片

P54壓電偏轉(zhuǎn)臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透 射光的應(yīng)用,負載后仍可高動態(tài)高精度的掃描。


推薦控制器

E01

E72

E70


頁碼 157

頁碼 163

頁碼 167





3路輸出

3路輸出

3路輸出


上位機通信、模擬、旋鈕

模擬、上位機通信

模擬與數(shù)字控制


開環(huán)/閉環(huán)

開環(huán)/閉環(huán)

開環(huán)/閉環(huán)


平均功率7W/通道

平均功率6W/通道

平均功率5W/通道


P54系列二維θxθy向壓電偏擺臺技術(shù)參數(shù):


型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

P54.T2S P54.T2K


單位

運動自由度

θx, θy


標稱偏擺角度 (0~+120V)

±0.8/ 軸

mrad±20%

大偏擺角度 (-20~+150V)

±1.1/ 軸

mrad±20%

傳感器類型

SGS/-


閉/開環(huán)偏擺分辨率

0.25/0.05

μrad

閉環(huán)線性度

0.2/-

%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度

0.1/-

%F.S.

推/拉力

40/8

N

運動方向剛度

0.5

N/μm±20%

空載諧振頻率

300

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

20/3.5

ms±20%


閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

50


Hz±20%

行程

15

大承載

1

kg

靜電容量

3.6/ 軸

μF±20%

材質(zhì)

鋁、鋼


重量

510

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。


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