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產(chǎn)品名稱:超低溫真空無磁壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:XD106.XYZ60K

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:超低溫真空無磁壓電掃描臺,是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計

更新日期:2025-02-24

XD106.XYZ60K超低溫真空無磁壓電掃描臺的詳細資料:

超低溫真空無磁壓電掃描臺

由芯明天研發(fā)生產(chǎn)的XD106.XYZ60K壓電掃描臺是一款三維運動壓電平臺,它是專為超低溫、真空及無磁環(huán)境應(yīng)用而設(shè)計,可進行XYZ三維掃描運動,采用低溫壓電驅(qū)動,耐低溫可達4K,它的體積小巧,尺寸僅39mm×39mm×35mm,中心通孔φ10mm,非常易于集成,外殼采用輕型耐低溫、無磁材料,采用低溫雙絞線,以適應(yīng)低溫環(huán)境下的使用。


超低溫真空無磁壓電掃描臺產(chǎn)品特點

· 低溫真空無磁,耐低溫可達4K

· XYZ三維運動

· 4K溫度下位移達30μm/軸

· 分辨率可達2nm

· 開環(huán)運動控制

· 響應(yīng)速度快


產(chǎn)品應(yīng)用

· 半導(dǎo)體加工


· 半導(dǎo)體檢測

· 高精密測試和操作

· 其他真空無磁要求的納米運動控制等


技術(shù)參數(shù)


型號
XD106.XYZ60K
運動自由度
X、Y、Z
驅(qū)動電壓
0~60V@常溫
0~150V@低溫4K
標(biāo)稱行程范圍(常溫)
70μm/軸
@0~60V,常溫
標(biāo)稱行程范圍(低溫)
30μm/軸
@0~150V,4K溫度
中心通孔直徑
10mm
分辨率
2nm
空載諧振頻率
X415/Y465/Z497Hz
帶載200g諧振頻率
XY105/Z229Hz
靜電容量
XY5.4μF,Z10.9μF
材質(zhì)
承載能力
200g
重量
220g
使用方向
倒置使用
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