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壓電陶瓷管掃描器與光纖章動跟蹤

更新時間: 2018-10-08

壓電陶瓷管掃描器是可以XYZ三維運動的壓電陶瓷管,用于三維微掃描與定位,如AFM原子力顯微鏡等。

 

結構形式-四區(qū)分割電極

 

 

工作方式及原理

 

壓電陶瓷管掃描器為壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個電極、內壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管,當外部施加一個正電壓到某一個區(qū)域時,陶瓷管垂直方向收縮,使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾斜,同時施加電壓會使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。

電極

可選化學鍍鎳、化學鍍鎳和金。也可接受電極定制。

 

驅動方式與位移計算

 

標準品技術參數(shù)

 

 

定制產(chǎn)品尺寸范圍

 

 

壓電陶瓷管掃描器用于光纖章動跟蹤

壓電陶瓷管掃描器體積小巧以及掃描速度快等特點,使其非常適于光纖章動跟蹤。采用光纖章動跟蹤方法,進行空間激光到單模光纖的耦合。章動運動如下圖所示。

 

 

壓電陶瓷管掃描器的外徑可小于3mm,體積非常小巧,非常便于集成。掃描范圍為幾微米甚至可達上百微米,且響應速度可達亞毫秒,頻率達5kHz甚至更高,可滿足光纖章動跟蹤的要求。

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