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P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡,柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度(毫秒至微秒級(jí)),非常適于動(dòng)態(tài)操作(例如跟蹤、掃描、漂移及 振動(dòng)消除)及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。《查看更多》
P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件,內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),補(bǔ)償量小,確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性,通過內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
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