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P31 俯仰/ 偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)可提供光束偏轉(zhuǎn)角度達50mrad，這種偏轉(zhuǎn)鏡系統(tǒng)是基于成熟的平行運動學設計，兩個運動軸為垂直共面軸且具有共同的固定點，具有高分辨率及高定位精度等特點。

特點

· θx, θy 二維偏轉(zhuǎn)

· 大偏轉(zhuǎn)范圍25mrad

· 亞毫秒響應時間

· 閉環(huán)定位精度高

· 溫度穩(wěn)定性高

高可靠性及長壽命、高穩(wěn)定性及動態(tài)性

P31 系統(tǒng)內(nèi)部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器，被集成在成熟的、經(jīng)過FEA 建模分析的鉸鏈導向系統(tǒng)。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷，可提供更好的穩(wěn)定性及可靠性。

壓電促動器、導向機構(gòu)及傳感器是免維護的，不易損壞且提供超高的可靠性。

先進的鉸鏈/ 杠桿設計將慣性小化，允許25mrad 的大角度俯仰/ 偏轉(zhuǎn)范圍（可將光束偏轉(zhuǎn)50mrad），且具有非常快的響應速度，在毫秒級范圍。

除了大偏轉(zhuǎn)角度及高動態(tài)，P31 還提供了亞微弧度的分辨率。內(nèi)部集成高分辨率、全橋的應變傳感器（SGS）實現(xiàn)了的位置控制，具有優(yōu)異的重復定位精度，通常為滿行程的0.2%。

驅(qū)動原理

壓電偏轉(zhuǎn)鏡（兩軸運動）是基于平行運動學設計，具有共面軸及移動面。四個執(zhí)行機構(gòu)（壓電促動器）以90°角平分放置，成對的差分控制分布。兩對差分驅(qū)動壓電促動器在較大溫度范圍內(nèi)提供可實現(xiàn)的角度穩(wěn)定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現(xiàn)，采用橋式連接電路控制。

頻率負載曲線

閉環(huán)定位精度

偏轉(zhuǎn)角度測量

激光準直儀測量P31.T25S 壓電偏轉(zhuǎn)鏡的偏轉(zhuǎn)行程范圍。

帶載階躍時間

P31.T25S 壓電偏轉(zhuǎn)鏡帶載60g 負載，達到滿行程偏轉(zhuǎn)角度的階躍時間約100ms。

閉環(huán)曲線