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壓電物鏡定位器應(yīng)用于激光晶圓切割

更新時間: 2019-04-01

激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經(jīng)過透鏡聚焦,再通過壓電物鏡定位器調(diào)整焦點的位置,使焦點準(zhǔn)確的定位在晶圓待切割部位,使被切割部位溫度急速升高,然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動,在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。

 

P76系列壓電物鏡定位器可快速調(diào)節(jié)聚焦點即加工點的位置,使其在目標(biāo)切割位置,聚焦行程可達110μm,分辨率可達2.5nm。

 

P76系列壓電物鏡定位器為大負(fù)載Z軸運動壓電物鏡定位器,負(fù)載能力可達500g,Z軸直線運動范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設(shè)計機構(gòu),無摩擦,直線性好,閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設(shè)計,可適配多種型號的顯微鏡。

<<特點

• 大行程110μm

• 大承載500g

• 毫秒級響應(yīng)時間

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 聚焦穩(wěn)定性好  

<<大負(fù)載、高頻響、高分辨率

P76納米掃描聚焦系統(tǒng)的設(shè)計是為了大負(fù)載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應(yīng)用中達到快的階躍時間。它極其堅固的設(shè)計提供了非常快的穩(wěn)定時間及掃描頻率,即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設(shè)計,使它具有較高的剛度,同時保證了優(yōu)異的導(dǎo)向精度和動態(tài)性。

P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm,大負(fù)載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應(yīng)用中常用的大視場物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。它也可以通過適配器與手動調(diào)節(jié)臺相結(jié)合使用。

<<頻率負(fù)載曲線

 

<<開/閉環(huán)曲線(帶載500g)

 

<<螺紋適配器便于安裝

P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在預(yù)期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯微鏡集成安裝。

<<技術(shù)參數(shù)

 

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