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P76F系列大負(fù)載壓電物鏡定位器,高性能與多適配性的技術(shù)創(chuàng)新

更新時(shí)間: 2024-10-18
  隨著微納技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)精密定位系統(tǒng)的需求日益增長(zhǎng)。哈爾濱芯明天科技有限公司,作為納米定位與測(cè)控技術(shù)的優(yōu)秀工具,近期推出的P76F系列方邊固定大承載壓電物鏡定位器,以其優(yōu)秀的性能和靈活的適配性,促進(jìn)了行業(yè)技術(shù)潮流。本文將詳細(xì)介紹P76F系列壓電物鏡定位器的技術(shù)特點(diǎn)、應(yīng)用場(chǎng)景以及配套控制器,展現(xiàn)其在精密測(cè)量與定位領(lǐng)域的優(yōu)秀表現(xiàn)。
 
一、產(chǎn)品概述 
  P76F系列壓電物鏡定位器是芯明天科技專為高負(fù)載應(yīng)用設(shè)計(jì)的壓電納米運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。該系列定位器采用了先進(jìn)的柔性鉸鏈設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了無摩擦、直線性好的運(yùn)動(dòng)特性,同時(shí)確保了高定位精度。其**的頂部方邊固定設(shè)計(jì),不僅提升了安裝的便捷性,還增強(qiáng)了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性。P76F系列以其高達(dá)90μm的位移能力和900g的負(fù)載能力,成為晶圓激光隱形切割、半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備等大負(fù)載應(yīng)用場(chǎng)景的理想選擇。
 
二、技術(shù)特點(diǎn) 
  1. 高精度定位:P76F系列提供閉環(huán)控制選項(xiàng),閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm,線性度優(yōu)于0.2%F.S.,重復(fù)定位精度達(dá)到0.03%F.S.,滿足了高精度測(cè)量的嚴(yán)苛要求。 
  2. 大負(fù)載能力:最大承載可達(dá)0.9kg,遠(yuǎn)超同類產(chǎn)品,適用于多種重載工況下的精確定位。 
  3. 靈活適配性:物鏡鏡頭連接器支持多種螺紋牙適配,可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制,提高了設(shè)備的通用性和靈活性。 
  4. 快速響應(yīng):毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間,空載諧振頻率高達(dá)750Hz,帶載諧振頻率在900g時(shí)仍能達(dá)到280Hz,確保了動(dòng)態(tài)操作的快速性和穩(wěn)定性。 
  5. 耐用可靠:采用高品質(zhì)材料(鋼、鋁)制造,結(jié)構(gòu)緊湊,重量輕(僅1740g),適用于長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作。
 
三、應(yīng)用場(chǎng)景 
  P76F系列壓電物鏡定位器憑借其優(yōu)秀的性能,廣泛應(yīng)用于多個(gè)高科技領(lǐng)域: 
  1. 三維成像與干涉計(jì)量:在顯微鏡系統(tǒng)中,P76F系列可實(shí)現(xiàn)高精度的自動(dòng)聚焦,提升成像質(zhì)量。 
  2. 晶圓切割:在半導(dǎo)體制造過程中,P76F系列的大負(fù)載能力和高精度保證了晶圓切割的準(zhǔn)確性和效率。 
  3. 半導(dǎo)體測(cè)試:在芯片測(cè)試階段,P76F系列能夠精確定位,滿足復(fù)雜測(cè)試任務(wù)的需求。
 
四、配套控制器 
  為充分發(fā)揮P76F系列壓電物鏡定位器的性能,芯明天科技推出了E53系列壓電控制器。該系列控制器專為小體積應(yīng)用設(shè)計(jì),體積小巧,功能強(qiáng)大,支持模擬與數(shù)字控制,開閉環(huán)可選。其散熱區(qū)域設(shè)計(jì)確保了長(zhǎng)時(shí)間工作的穩(wěn)定性,且上位機(jī)軟件支持二次開發(fā),便于用戶集成與定制。
 
結(jié)語 
  P76F系列方邊固定大承載壓電物鏡定位器,是芯明天科技在納米定位與測(cè)控技術(shù)領(lǐng)域的一次重要?jiǎng)?chuàng)新。其優(yōu)秀的性能、靈活的適配性和廣泛的應(yīng)用前景,必將為微納技術(shù)的發(fā)展注入新的動(dòng)力。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和市場(chǎng)的不斷拓展,P76F系列定位器必將成為精密定位領(lǐng)域的明星產(chǎn)品,助力各行各業(yè)實(shí)現(xiàn)更高水平的科技進(jìn)步。 
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