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P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺(tái),行程可達(dá)毫米!

更新時(shí)間: 2024-11-04
P60.Z1000系列壓電納米定位臺(tái)是一款具有大行程特點(diǎn)的一維Z向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái)。它的內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),配合無摩擦柔性鉸鏈機(jī)構(gòu),利用機(jī)構(gòu)放大驅(qū)動(dòng)形式,實(shí)現(xiàn)大行程精密定位運(yùn)動(dòng),行程可高達(dá)1mm。它的負(fù)載可達(dá)1.5kg,在行程大的同時(shí)兼具了大負(fù)載的特點(diǎn)。該產(chǎn)品可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制??蓮V泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。產(chǎn)品外觀如下圖所示。



圖片

產(chǎn)品特點(diǎn)

Z向位移1000μm
承載1.5kg
毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間
閉環(huán)重復(fù)定位精度高
可選閉環(huán)傳感器
真空版本可選

產(chǎn)品應(yīng)用

光學(xué)測(cè)量
光學(xué)檢測(cè)
顯微掃描
激光干涉
生物科技
納米操控技術(shù)
納米光刻
納米測(cè)量

技術(shù)參數(shù)


型號(hào)
P60.Z1000S/K-C
運(yùn)動(dòng)方向
Z
驅(qū)動(dòng)控制
1路傳感/1路驅(qū)動(dòng)
標(biāo)稱行程范圍(0~120V)
800µm
Max.行程范圍(0~150V)
1000µm
傳感器類型
SGS/-
分辨率
35nm/10nm
閉環(huán)重復(fù)定位精度
0.1%F.S./-
空載諧振頻率
80Hz
承載能力
水平安裝
1.5kg
立式安裝
0.02kg
倒置安裝
0.05kg
靜電容量
72μF
材質(zhì)
鈦、鋁
重量
<1.3kg



配套控制器

E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)P60.Z1000系列壓電納米定位臺(tái)。E53.D系列是針對(duì)小體積應(yīng)用要求而設(shè)計(jì)的單通道控制器,體積小巧,外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3,重量為350g,供電電壓24VDC/1A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域,可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量,上位機(jī)軟件支持二次開發(fā),體積小巧,易于集成。

圖片



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