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壓電納米定位臺(tái)的特點(diǎn)說明

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詳細(xì)介紹:

壓電納米定位臺(tái)的特點(diǎn)說明

  產(chǎn)品特點(diǎn):
  超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
  采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng);
  內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
  內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
  壓電納米定位臺(tái)是采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的Z向納米級(jí)精密壓電納米定位臺(tái),壓電掃描臺(tái)內(nèi)部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu),壓電定位臺(tái)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu),柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度,且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn),壓電平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,確保了壓電納米定位臺(tái)具有的運(yùn)動(dòng)控制精度,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí),定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。中空式超薄設(shè)計(jì),且中央通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。

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