壓電移相器特性說明
產(chǎn)品特性
壓電移相器用于掃描、光學(xué)對(duì)準(zhǔn)及鏡子移動(dòng)裝置對(duì)準(zhǔn)
10mm中空
壓電三腳設(shè)計(jì)
光束偏轉(zhuǎn)可達(dá)2.4mrad
活塞運(yùn)動(dòng)可達(dá)12μm（移相器）
亞毫秒響應(yīng)，亞微弧度分辨率
用于光學(xué)，鏡片或其他部件
無摩擦，高精度彎曲導(dǎo)向系統(tǒng)
平行運(yùn)動(dòng)學(xué)擴(kuò)展動(dòng)態(tài)性及更好的多軸精度
壓電移相器內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)，內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電移相器具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。專為高精度定位的光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)用而設(shè)計(jì)，超大的中空設(shè)計(jì)，方便應(yīng)用于測(cè)量、干涉測(cè)量、白光干涉測(cè)量、納米定位掃描儀。分立的螺紋轉(zhuǎn)接器，可適配多種型號(hào)的物鏡。掃描臺(tái)為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場(chǎng)同時(shí)也不受磁場(chǎng)的影響。
