壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源主要功能是將微弱的外部模擬輸入信 號(hào)或計(jì)算機(jī)通過(guò)DA給出的模擬信號(hào)或其 它的控制信號(hào)，通過(guò)功率放大模塊內(nèi)部的 電壓與功率放大電路將信號(hào)放大。
E09 PZT傳感控制模塊
E09系列PZT傳感控制模塊是給各類PZT或微 動(dòng)工作臺(tái)等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器提供高、 高穩(wěn)定性和高可靠性的激勵(lì)信號(hào)，并檢測(cè)和處理 PZT或微動(dòng)工作臺(tái)等納米定位機(jī)構(gòu)中的傳感器信 號(hào)，并將該傳感器信號(hào)通過(guò)內(nèi)部的算法電路完成伺 服控制。E09PZT傳感控制模塊不是一個(gè)獨(dú)立的設(shè) 備，需集成在E00/E01機(jī)箱內(nèi)工作。
工作原理
壓電陶瓷類變形鏡對(duì)高壓驅(qū)動(dòng)電源的要求除了雙極性高壓輸出和高的動(dòng)態(tài)性能外，還要求驅(qū)動(dòng)電源具有穩(wěn)定性高、線性度好、紋波小等特點(diǎn)。通常驅(qū)動(dòng)電源采用直流放大式的原理結(jié)構(gòu)，它主要由誤差放大級(jí)、高壓功率放大級(jí)、電壓負(fù)反饋網(wǎng)絡(luò)和高壓直流電源等組成。誤差放大級(jí)放大輸入低壓控制信號(hào)與電壓反饋信號(hào)的差值形成負(fù)反饋，穩(wěn)定驅(qū)動(dòng)電源閉環(huán)時(shí)的電壓增益；高壓功率放大級(jí)實(shí)現(xiàn)電壓和電流的放大，滿足變形鏡驅(qū)動(dòng)對(duì)電壓和電流的要求；高壓直流電源為高壓功率放大級(jí)提供所需的高壓直流電壓。
壓電陶瓷是可以將電能轉(zhuǎn)換成位移或出力的功能性材料且越來(lái)越廣泛的被精密定位，半導(dǎo)體加工，顯微成像等各個(gè)領(lǐng)域所應(yīng)用。
選擇壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源的理由有哪些？
· 大出力
· 高機(jī)械負(fù)載能力
· 高剛度
· 高動(dòng)態(tài)性
· 真空環(huán)境兼容
· 高分辨率
