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P33系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是具有快速響應(yīng)且體積緊湊等特點(diǎn)的偏轉(zhuǎn)平臺(tái)，提供頂端面的高精度角度運(yùn)動(dòng)，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導(dǎo)向的 壓電偏轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供更高的加速度，使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍。閉環(huán)與開(kāi)環(huán)版本具有6個(gè)不同的偏轉(zhuǎn)范圍，大可達(dá)27mrad的光束偏 轉(zhuǎn)。《查看更多》

P22系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡是一維θx軸偏轉(zhuǎn)鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導(dǎo)向設(shè)計(jì)具有零摩擦及靜態(tài)阻力、優(yōu)異的導(dǎo)向精度。提供納弧度的分辨率 和優(yōu)異的定位穩(wěn)定性。光束偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)8mrad, 具有極快的響應(yīng)速度（毫秒至微秒級(jí)），非常適于動(dòng)態(tài)操作（例如跟蹤、掃描、漂移及 振動(dòng)消除）及光學(xué)和樣品的靜態(tài)定位。《查看更多》

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡P34系列是專(zhuān)為較大直徑鏡片而設(shè)計(jì)，可加載直徑達(dá)80mm的鏡片，它的差分驅(qū)動(dòng)在較大溫度范圍內(nèi)表現(xiàn)出非常出色的角度定位穩(wěn)定性。P34系列偏轉(zhuǎn)鏡允許頂部平臺(tái)在具有共同樞軸點(diǎn)（并聯(lián)運(yùn)動(dòng)）的兩個(gè)正交軸上進(jìn)行高動(dòng)態(tài)精密偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，多種鏡片安裝面可選，以獲得對(duì)不同鏡片材料的熱適應(yīng)。開(kāi)環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇，所有版本都具有亞微弧度分辨率，且傾斜角度大可達(dá)6mrad（等于光束偏轉(zhuǎn)12mrad）。《查看更多》

P22一維θx向壓電偏轉(zhuǎn)鏡4mrad 是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

p31芯明天二維θx,θy向壓電偏轉(zhuǎn)鏡 25mrad是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，內(nèi)部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，外部機(jī)械結(jié)構(gòu)通過(guò)內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，補(bǔ)償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有良好的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性，通過(guò)內(nèi)置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》

壓電偏轉(zhuǎn)鏡/傾斜鏡采用壓電陶瓷直推驅(qū)動(dòng)，零摩擦的柔性鉸鏈為導(dǎo)向系統(tǒng)使其具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無(wú)機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。鏡子只需要簡(jiǎn)單的固定到偏轉(zhuǎn)臺(tái)上，可提供2毫弧度的偏轉(zhuǎn)行程。在整個(gè)偏轉(zhuǎn)行程中可達(dá)到亞微弧度的分辨率。低的移動(dòng)質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統(tǒng)可以提供良好的響應(yīng)時(shí)間和和速度。《查看更多》