P13系列壓電納米定位臺為二維XY、三維XYZ壓電平臺，臺體采用平行運動學(xué)機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，zui大位移為 40μm/軸。開環(huán)閉環(huán)版本可供選擇。產(chǎn)品主要應(yīng)用于光學(xué)顯微、生物科技等領(lǐng)域。 典型應(yīng)用
• 2D/3D掃描系統(tǒng) • 光路調(diào)整
• 半導(dǎo)體技術(shù) • 微操作
• 原子力顯微鏡 • 納米定位
P13系列壓電納米定位臺特點： • 2~3維運動 • 位移行程40μm • 體積小巧 • 亞毫秒響應(yīng)時間    二、三維平移臺
P13壓電納米定位臺，包括二維XY軸、三維XYZ 軸兩個規(guī)格型號。   超小體積、無機(jī)械間隙、高分辨率 
固態(tài)鉸鏈平行四邊形設(shè)計原理，平行運動無機(jī)械間隙，該結(jié)構(gòu)原理使其具有非常高的分辨率，運動直線性好。P13系列壓電納米定位臺可以很容易的安裝到其他的定位系統(tǒng)并且可以配置傳感測量裝置（應(yīng)變計傳 感器）消除壓電陶瓷的遲滯與蠕變特性。P13壓電平移臺適用于動態(tài)使用，是掃描應(yīng)用的 理想選擇。 閉環(huán)階躍穩(wěn)定時間圖 P13.XY閉環(huán)版本40μm行程的穩(wěn)定時間約為30ms。 技術(shù)參數(shù) 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P13.XY40S P13.XY40K | P13.XYZ40S P13.XYZ40K | 單位 | 運動自由度 | X、Y | X、Y、Z | | 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 30/軸 | 30/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 40/軸 | 40/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | | 閉/開環(huán)分辨率 | 1.5/0.7 | 1.5/0.7 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <5 | <5 | µrad | 推/拉力 | 5/2 | 8/3 | N | 運動方向剛度 | X0.15/Y0.2 | X0.1/Y0.15/Z0.2 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | X0.45/Y0.55 | X0.35/Y0.4/Z0.58 | kHz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 30/2 | 30/3 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | 35 | Hz±20% | 行程 | 5 | 3 | zui大承載 | 0.05 | 0.05 | kg | 靜電容量 | 0.8/軸 | 0.8/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 110 | 220 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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