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型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

P12.X100S P12.X100K

P12.Z100S P12.Z100K

P12.Z200S P12.Z200K

P12.Z300S P12.Z300K

P12.XY100S P12.XY100K

P12.XYZ100S P12.XYZ100K

單位

運動自由度

X

Z

Z

Z

X、Y

X、Y、Z

標稱行程范圍(0~120V)

80

80

160

240

80/軸

80/軸

μm±20%

zui大行程范圍(-20~150V)

110

110

210

320

110/軸

110/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

通孔尺寸

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

Ø25/Ø35

mm

閉/開環(huán)分辨率

7/4

7/4

7/4

11/5

7/4

7/4

nm

閉環(huán)線性度

0.05/-

0.05/-

0.1/-

0.4/-

0.05/-

0.15/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.01/-

0.01/-

0.03/-

0.15/-

0.03/-

0.05/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<10

<10

<15

<15

<10

<15

µrad

推/拉力

30/10

30/10

30/10

30/10

25/8

20/4

N

運動方向剛度

0.3

0.3

0.2

0.1

X0.25/Y0.3

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

230

220

150

100

X180/Y230

X230/Y180/Z150

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10/0.8

10/0.8

15/1.6

30/2.4

15/0.8

30/0.8

ms±20%

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

100

100

50

30

100

50

Hz±20%

行程

9

10

5

3

9

5

zui大承載

0.8

0.8

0.5

0.4

0.7

0.6

kg

靜電容量

1.8

1.8

3.6

5.4

1.8/軸

1.8/軸

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

重量

140

140

200

260

200

260

g±5%