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產(chǎn)品名稱:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺

產(chǎn)品型號:N12

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺,臺體中心方形通孔,內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu),具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點,平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋,實現(xiàn)滿行程0.04%的 重復定位精度。

更新日期:2024-03-04

N12芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺的詳細資料:

   芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 N12壓電掃描臺為1~3維并聯(lián)式平移掃描臺,臺體中心方形通孔,內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu) 化結(jié)構(gòu),具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點,平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋,實現(xiàn)滿行程0.04%的 重復定位精度。

芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺N12壓電掃描臺特性

• 大位移110μm

• 大承載0.7kg

• 臺體中心方形通孔

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選

1~3維掃描臺

   N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規(guī)格型號。

閉環(huán)傳感定位精度高

    N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器,對位置實時檢測 并反饋到壓電控制器,控制器通過PID算法調(diào)整電壓修正位移,從 而實現(xiàn)高精度定位。

    N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應(yīng)用 于光學顯微成像,實現(xiàn)XYZ軸精密掃描。

小體積、大位移、中心通孔

    N12系列納米定位臺體積非常小巧,位移可達110μm。 *的平行運動學設(shè)計原理,使得平臺可以實現(xiàn)XYZ軸高速 精密運動。這款產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛,從光學研究到工業(yè)化 OEM系統(tǒng)等。

    該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及 優(yōu)異的直線性使其成為光學、激光領(lǐng)域納米級精密定位應(yīng)用。

N12壓電掃描臺典型應(yīng)用

 掃描顯微

• 共焦顯微

• 晶圓定位

• 表面測量

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 半導體測試

N12壓電掃描臺技術(shù)參數(shù):

 

型號

 

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

 

N12.X100S N12.X100K

 

N12.Z100S N12.Z100K

 

N12.XY100S N12.XY100K

 

N12.XZ100S N12.XZ100K

 

N12.XYZ100S N12.XYZ100K

 

單位

運動自由度

X

Z

X、Y

X、Z

X、Y、Z

 

標稱行程范圍(0~120V)

80

80

80/軸

80/軸

80/軸

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

110

110

110/軸

110/軸

110/軸

μm±20%

傳感器類型

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

SGS/-

 

通孔尺寸

45×45

45×45

45×45

45×45

45×45

mm

閉/開環(huán)分辨率

7/4

7/4

7/4

7/4

7/4

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.1/-

0.15/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.04/-

0.04/-

0.05/-

0.05/-

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

<10

<10

<15

<15

<20

µrad

推/拉力

30/10

30/10

25/8

25/8

20/4

N

運動方向剛度

0.3

0.3

X0.25/Y0.3

X0.3/Z0.25

X0.3/Y0.25/Z0.2

N/μm±20%

空載諧振頻率

230

200

X170/Y200

X200/Z150

X200/Y150/Z120

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10/0.8

10/0.8

15/0.8

15/0.8

30/0.8

ms±20%

 

閉環(huán)空載 工作頻率

10%行程

60

65

55

50

30

 

Hz±20%

行程

8

8

7

6

4

大承載

0.7

0.7

0.7

0.7

0.5

kg

靜電容量

1.8

1.8

1.8/軸

1.8/軸

1.8/軸

μF±20%

材質(zhì)

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

鋼、鋁

 

重量

240

240

290

290

350

g±5%

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。

 
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